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  •       在众多金刚石膜沉积技术之中,高功率直流电弧等离子体喷射通过电弧放电,在高温下产生极高的原子氢浓度,制备出高品质、大面积的CVD金刚石薄膜 ,佰特科技拥有该设备全套成熟工艺,并提供技术辅导。

    提供成套设备主要包括:
    (1)真空沉积腔体;
    (2)真空获得系统;
    (3)排气和生长压力调节系统;
    (4)沉积台系统;
    (5)沉积电源;
    (6)真空管道、附件、主机架;
    (7)电气自动化控制系统;
    (8)气路、水路系统;
    (9)真空测量系统,温度、压力、流量测量控制系统;
    (10) 制冷系统。
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